- Обзор
- Описание продукта
- Параметры продукта
- Подробные фотографии
- Профиль компании
- Упаковка и доставка
- ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ
- Свяжитесь с нами
Основная Информация.
Описание Товара
Лабораторная плазменная усовершенствованная система CVD (PECVD) для подготовки сульфида
1. Система PECVD поставляется с плазменным генератором, трубной печью с тройной зоной нагрева, трубной печью с одной конфоркой, и.
РЧ-источник питания и вакуумная система.
2.устройство подготовки графеновой пленки PECVD ионизирует газ, содержащий Атома, образующего пленку, с помощью РЧ-выхода 13.56 года
МГц образует плазму в вакуумной камере, использует сильную химическую активность плазмы, улучшает условия реакции, и.
использует плазменную активность для продвижения реакции, затем налет на подложку нужной пленки.
3. Эта система PECVD может использоваться при подготовке графена, сульфида и нанометра. Различные
Пленки, такие как SiOx, SiNx, аморфный кремний, микрокристаллический кремний, нанокремний, SIC, алмазоподобный и т.д. могут быть депонированы
также можно установить поверхность листа или аналогичного образца, а также пленки p-типа и n-типа с доплётом. Размещенный фильм
имеет хорошую однородность, компактность, адгезию и изоляцию. Широко используется в областях резчиков, высокоточных форм, твёрдости
покрытия, высококачественные украшения и т.д.
Технические характеристики системы PECVD
| Две конфорки трубной печи | Модель продукта | TN-PE-HPCVD-50R-1100-Q | |
| Материал трубы печи | Кварц высокой чистоты | ||
| Диаметр трубы | 50 мм | ||
| Длина трубы печи | 1200 мм | ||
| Длина камеры печи | 440 мм | ||
| Длина зоны нагрева | 200 мм+200 мм | ||
| Рабочая температура | 0–1100 °C. | ||
| Точность регулирования температуры | ±1°C. | ||
| Режим регулирования температуры | 30 или 50-сегментный контроль температуры | ||
| Режим отображения | Полноцветный сенсорный ЖК-экран HD | ||
| Способ уплотнения | 304 вакуумный фланец из нержавеющей стали | ||
| Источник питания | Переменный ток: 220 в, 50/60 Гц , 50 кВт | ||
| Система РЧ-выхода | Диапазон мощности | 0–500 Вт с регулировкой | |
| рабочая частота | 13,56 МГц + 0.005% | ||
| Рабочий режим | Непрерывная работа | ||
| Режим с согласованным импедансом | Его можно подровну, и свечение равномерно распределяется по трубке печи | ||
| Стабильность мощности | ≤2 ВТ. | ||
| Нормальная работа отраженная мощность | ≤3 ВТ. | ||
| Усиление отраженной мощности | ≤70 ВТ. | ||
| Гармоническая составляющая | ≤-50 дБн | ||
| Общая эффективность | ≥70% | ||
| Коэффициент мощности | ≥90% | ||
| Напряжение/частота питания | Однофазный переменный ток (187–153 в), частота 50 Гц | ||
| Режим управления | Внутреннее управление/аналоговое количество ПЛК/связь RS232/485 | ||
| Настройки защиты питания | Защита от перегрузки по току постоянного тока, защита усилителя мощности от перегрева, защита от отраженного питания | ||
| Способ охлаждения | Принудительное охлаждение воздуха | ||
| Зона свечения | В соответствии с AR радиочастотное питание и катушка сотрудничают с запальным светом для заполнения трубы печи | ||
| Испарение лодки | Рабочая температура | 1300°C. | |
| Источник испарения | Вольфрамовая проволочная корзина, дополнительный конусный тигель из глинозема | ||
| Термопара | Термопара типа s. | ||
| Рабочий ток | ≤30 А. | ||
| Макс. Мощность | 500 ВТ. | ||
| Система подачи газа | Расходомер | Четырехканальный массовый расходомер | |
| Диапазон расхода | Диапазон MFC1: От 0 до 200 см Диапазон MFC2: От 0 до 200 см. Диапазон MFC3: От 0 до 500 ссм Диапазон MFC4: От 0 до 500 ссм Соответствует газам H2, CH4, N2, AR. | ||
| Точность измерения | ±1.5% ОТ F.S | ||
| Повторяемость | ±0.2 % FS | ||
| Линейная точность | ±1% ОТ НОМИНАЛЬНОГО | ||
| Время отклика | ≤4 с. | ||
| Рабочее давление | -0,15 МПа~0,15 МПа | ||
| Управление расходом | Управление с помощью сенсорного ЖК-дисплея, цифровой дисплей, каждый канал, в котором находится газовый клапан, обеспечивает возможность индивидуального управления. | ||
| Впускной интерфейс | Он может быть подключен с внешним диаметром 1 мм или 4NPS труба из нержавеющей стали | ||
| Интерфейс розетки | Он может быть подключен с внешним диаметром 1 мм или 4NPS труба из нержавеющей стали | ||
| Способ подключения | Двойной соединитель обжимной втулки | ||
| Рабочая температура | 5–45 °C. | ||
| Предварительная смесь газа | Оснащен устройством для предварительного смешивания газа | ||
| Система выпуска отработавших газов | Модель продукта | TN-GZK103-A | |
| Молекулярный насос | Турбомомолекулярный насос | ||
| Насос подачи топлива | Двухступенчатый роторно-лопастной насос | ||
| Скорость насоса | Молекулярный насос: 600 л/с. | Производительность насоса: 30 минут вакуума может достигать 5×10E-3PA | |
| Роторный лопастной насос: 1,1 л/с. | |||
| Непревзойденный вакуум | 5×10E-4 Па | ||
| Отверстие насоса | KF40 | ||
| Интерфейс системы выпуска отработавших газов | KF16 | ||
| Измерение вакуума | Составной вакуумный манометр | ||
1. У НАС есть машина CVD/PECVD с системой подачи газа+вакуумной системой+трубная печь + плазменный генератор.
2. Трубная печь (температура): 1200C, 1400C, 1600C, доступна индивидуальная температура.
3. Трубная печь (зона нагрева): Однозонная, двухзонная, трехзонная, настраиваемое количество зон нагрева .
4. Материал трубки: Кварц, корунд, сплав и другой материал трубки можно настраивать.
5. Трубка с различным диаметром и длиной может быть индивидуально настраиваемой.
6. Плазменный генератор: 100 Вт, 150 Вт, 300 Вт, 500 Вт, 1000 Вт, а также другие возможности плазменного генератора можно настраивать.
7. Расходомер: 1~3 или многоканальный расходомер является дополнительным оборудованием в зависимости от вашего процесса.
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. — это комплексная компания, объединящая в себе дизайн, исследования и разработки, производство и продажи.
Основные продукты нашей компании: Спиновая коатера, термальный испарительный коатер, магнетрон-sputter coater, плазменный sputter coater, E-beam испарительный коатер, Машина для нанесения лазерного покрытия PLD, плазменный очиститель, система CVD, система PECVD , станок для резки алмазной проволоки, плавильная печь/плита, печь для дуговой плавления и т.д.
Наши продукты широко используются в области исследований в области материаловедения. Мы активно работаем с отечественными университетами, лабораториями и новыми материальными компаниями. Успешно экспортирован в более чем 20 стран и регионов, включая Соединенные Штаты, Соединенное Королевство, Германию, Россию, Швейцарию, Канада, Бразилия и т.д. и установили долгосрочные отношения сотрудничества с местными дилерами.
Если вы проводите исследования материалов, пожалуйста, свяжитесь с нами и мы предоставляем вам индивидуальные услуги, чтобы сделать ваши исследовательские эксперименты более гладкими! 
Мы можем отправлять машины CVD, PECVD по морю, воздуху, по суше и экспресс, а также можем организовать доставку в соответствии с вашими требованиями. 
В. Вы являетесь производителем или торговой компанией?
О. мы являемся профессиональным производителем лабораторных приборов, у нас есть профессиональная команда по НИОКР и мастерская, которые могут обещать qulaity и послепродажное обслуживание.
В. как вы можете получить гарантию?
A. Наша гарантия составляет 12 месяцев и обеспечивает обслуживание на весь срок службы. Мы предоставляем 24 часов онлайн-обслуживания.
В. сколько времени у вас будет доставка? Сколько времени занимает настройка прибора?
A. 5-10 дней --- в магазине. Товары, которые можно использовать в соответствии с вашими требованиями, обычно занимают 30-60 дней.
В. Питание и вилка?
О. мы можем предоставить продукты, соответствующие местному стандарту напряжения и вилки.
В. как оплатить?
A. T T, L / C, D / P И Т. Д.
В. как упаковать товары? Способы доставки?
A. Стандартная упаковка упаковки для упаковки из деревянной коробки или в соответствии с вашими требованиями.
ОБСУДИМ ЛИ МЫ ВАШ ПРОЕКТ?
Свяжитесь с нами и мы сможем сотрудничать, чтобы получить ответы и решения, которые вам необходимы.
Как мы можем помочь вам достичь ваших целей? Какие технические препятствия могут помочь вам преодолеть наши технические специалисты? Нажмите кнопку "Get in Touch" (получить доступ к информации), чтобы связаться с нами. Мы будем рады услышать ваши результаты исследования и помочь вам в любом случае.