- Обзор
- Описание продукта
- Параметры продукта
- Подробные фотографии
- Профиль компании
- Упаковка и доставка
- ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ
- Свяжитесь с нами
Основная Информация.
Описание Товара
1500c Высокотемпературная вакуумная печь CVD для нанесения пленки
1. Эта система CVD специально разработана для производства графена, с использованием мини-трубной печи 1200°C, оснащенной высокоплавильной
прецизионный массовый расходомер и тонкопленочный вакуумный манометр.
2. По сравнению с обычным манометром сопротивления Pirani, показания датчика тонкой пленки являются точными и не влияют на
тип газа, который очень подходит для процесса вакуумного покрытия.
3. Печь трубки CVD оснащена устройством обнаружения горючих газов, которое связано с электромагнитным клапаном в воздухе
выпуск. После утечки электромагнитный клапан можно закрыть, чтобы обеспечить безопасность.
4. Печь трубки CVD имеет посадочное место и подходит для лабораторной подготовки CVD.
Технические характеристики печи трубы CVD
| Две конфорки трубной печи | Модель продукта | TN-PE-HPCVD-50R-1100-Q | |
| Материал трубы печи | Кварц высокой чистоты | ||
| Диаметр трубы | 50 мм | ||
| Длина трубы печи | 1200 мм | ||
| Длина камеры печи | 440 мм | ||
| Длина зоны нагрева | 200 мм+200 мм | ||
| Рабочая температура | 0–1100 °C. | ||
| Точность регулирования температуры | ±1°C. | ||
| Режим регулирования температуры | 30 или 50-сегментный контроль температуры | ||
| Режим отображения | Полноцветный сенсорный ЖК-экран HD | ||
| Способ уплотнения | 304 вакуумный фланец из нержавеющей стали | ||
| Источник питания | Переменный ток: 220 в, 50/60 Гц , 50 кВт | ||
| Система РЧ-выхода | Диапазон мощности | 0–500 Вт с регулировкой | |
| рабочая частота | 13,56 МГц + 0.005% | ||
| Рабочий режим | Непрерывная работа | ||
| Режим с согласованным импедансом | Его можно подровну, и свечение равномерно распределяется по трубке печи | ||
| Стабильность мощности | ≤2 ВТ. | ||
| Нормальная работа отраженная мощность | ≤3 ВТ. | ||
| Усиление отраженной мощности | ≤70 ВТ. | ||
| Гармоническая составляющая | ≤-50 дБн | ||
| Общая эффективность | ≥70% | ||
| Коэффициент мощности | ≥90% | ||
| Напряжение/частота питания | Однофазный переменный ток (187–153 в), частота 50 Гц | ||
| Режим управления | Внутреннее управление/аналоговое количество ПЛК/связь RS232/485 | ||
| Настройки защиты питания | Защита от перегрузки по току постоянного тока, защита усилителя мощности от перегрева, защита от отраженного питания | ||
| Способ охлаждения | Принудительное охлаждение воздуха | ||
| Зона свечения | В соответствии с AR радиочастотное питание и катушка сотрудничают с запальным светом для заполнения трубы печи | ||
| Испарение лодки | Рабочая температура | 1300°C. | |
| Источник испарения | Вольфрамовая проволочная корзина, дополнительный конусный тигель из глинозема | ||
| Термопара | Термопара типа s. | ||
| Рабочий ток | ≤30 А. | ||
| Макс. Мощность | 500 ВТ. | ||
| Система подачи газа | Расходомер | Четырехканальный массовый расходомер | |
| Диапазон расхода | Диапазон MFC1: От 0 до 200 см Диапазон MFC2: От 0 до 200 см. Диапазон MFC3: От 0 до 500 ссм Диапазон MFC4: От 0 до 500 ссм Соответствует газам H2, CH4, N2, AR. | ||
| Точность измерения | ±1.5% ОТ F.S | ||
| Повторяемость | ±0.2 % FS | ||
| Линейная точность | ±1% ОТ НОМИНАЛЬНОГО | ||
| Время отклика | ≤4 с. | ||
| Рабочее давление | -0,15 МПа~0,15 МПа | ||
| Управление расходом | Управление с помощью сенсорного ЖК-дисплея, цифровой дисплей, каждый канал, в котором находится газовый клапан, обеспечивает возможность индивидуального управления. | ||
| Впускной интерфейс | Он может быть подключен с внешним диаметром 1 мм или 4NPS труба из нержавеющей стали | ||
| Интерфейс розетки | Он может быть подключен с внешним диаметром 1 мм или 4NPS труба из нержавеющей стали | ||
| Способ подключения | Двойной соединитель обжимной втулки | ||
| Рабочая температура | 5–45 °C. | ||
| Предварительная смесь газа | Оснащен устройством для предварительного смешивания газа | ||
| Система выпуска отработавших газов | Модель продукта | TN-GZK103-A | |
| Молекулярный насос | Турбомомолекулярный насос | ||
| Насос подачи топлива | Двухступенчатый роторно-лопастной насос | ||
| Скорость насоса | Молекулярный насос: 600 л/с. | Производительность насоса: 30 минут вакуума может достигать 5×10E-3PA | |
| Роторный лопастной насос: 1,1 л/с. | |||
| Непревзойденный вакуум | 5×10E-4 Па | ||
| Отверстие насоса | KF40 | ||
| Интерфейс системы выпуска отработавших газов | KF16 | ||
| Измерение вакуума | Составной вакуумный манометр | ||
1. У НАС есть машина CVD/PECVD с системой подачи газа+вакуумной системой+трубная печь + плазменный генератор.
2. Трубная печь (температура): 1200C, 1400C, 1600C, доступна индивидуальная температура.
3. Трубная печь (зона нагрева): Однозонная, двухзонная, трехзонная, настраиваемое количество зон нагрева .
4. Материал трубки: Кварц, корунд, сплав и другой материал трубки можно настраивать.
5. Трубка с различным диаметром и длиной может быть индивидуально настраиваемой.
6. Плазменный генератор: 100 Вт, 150 Вт, 300 Вт, 500 Вт, 1000 Вт, а также другие возможности плазменного генератора можно настраивать.
7. Расходомер: 1~3 или многоканальный расходомер является дополнительным оборудованием в зависимости от вашего процесса.
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. — это комплексная компания, объединящая в себе дизайн, исследования и разработки, производство и продажи.
Основные продукты нашей компании: Спиновая коатера, термальный испарительный коатер, магнетрон-sputter coater, плазменный sputter coater, E-beam испарительный коатер, Машина для нанесения лазерного покрытия PLD, плазменный очиститель, система CVD, система PECVD , станок для резки алмазной проволоки, плавильная печь/плита, печь для дуговой плавления и т.д.
Наши продукты широко используются в области исследований в области материаловедения. Мы активно работаем с отечественными университетами, лабораториями и новыми материальными компаниями. Успешно экспортирован в более чем 20 стран и регионов, включая Соединенные Штаты, Соединенное Королевство, Германию, Россию, Швейцарию, Канада, Бразилия и т.д. и установили долгосрочные отношения сотрудничества с местными дилерами.
Если вы проводите исследования материалов, пожалуйста, свяжитесь с нами и мы предоставляем вам индивидуальные услуги, чтобы сделать ваши исследовательские эксперименты более гладкими! 
Мы можем отправлять машины CVD, PECVD по морю, воздуху, по суше и экспресс, а также можем организовать доставку в соответствии с вашими требованиями. 
В. Вы являетесь производителем или торговой компанией?
О. мы являемся профессиональным производителем лабораторных приборов, у нас есть профессиональная команда по НИОКР и мастерская, которые могут обещать qulaity и послепродажное обслуживание.
В. как вы можете получить гарантию?
A. Наша гарантия составляет 12 месяцев и обеспечивает обслуживание на весь срок службы. Мы предоставляем 24 часов онлайн-обслуживания.
В. сколько времени у вас будет доставка? Сколько времени занимает настройка прибора?
A. 5-10 дней --- в магазине. Товары, которые можно использовать в соответствии с вашими требованиями, обычно занимают 30-60 дней.
В. Питание и вилка?
О. мы можем предоставить продукты, соответствующие местному стандарту напряжения и вилки.
В. как оплатить?
A. T T, L / C, D / P И Т. Д.
В. как упаковать товары? Способы доставки?
A. Стандартная упаковка упаковки для упаковки из деревянной коробки или в соответствии с вашими требованиями.
ОБСУДИМ ЛИ МЫ ВАШ ПРОЕКТ?
Свяжитесь с нами и мы сможем сотрудничать, чтобы получить ответы и решения, которые вам необходимы.
Как мы можем помочь вам достичь ваших целей? Какие технические препятствия могут помочь вам преодолеть наши технические специалисты? Нажмите кнопку "Get in Touch" (получить доступ к информации), чтобы связаться с нами. Мы будем рады услышать ваши результаты исследования и помочь вам в любом случае.