Основная Информация.
Модель №.
CY-PE
сертификация
CE, tuv
Состав
рабочий стол
материал
Стали
Тип
Трубчатые печи
скорость
2 - 10 об/мин
соответствие
автоматически
сила отражения
макс. 100w
частота рч
13.56 мгц
уплотнительный фланец
нержавеющая сталь
обрабатывающая трубка
кварцевая трубка
гарантия
один год
Транспортная Упаковка
деревянный ящик
Характеристики
диам. 50 мм
Торговая Марка
cy
Происхождение
Zhengzhou, China
Код ТН ВЭД
85141090
Производственная Мощность
110 комплектов в месяц
Описание Товара
PE-HPCVD вращающийся печах с In-situ испаритель, 4 канала MFC и вакуумного насоса
- 1200C поворотным Two-Zone Plasma-Enhanced Hybrid-Physical-химического осаждения паров (РЕ-HPCVD). Он состоит из 300 W RF (соотношение частоты) генератора плазмы и соответствующие сети, Up-Stream источника испарения на лодке с блоком питания, четыре канала MFC газа и высокая производительность вакуумного насоса. Такая система является отличным инструментом для тепловой обработки неорганических герметик порошки с великолепным и температуры поверхности единообразия.
- 1200C поворотным Two-Zone Plasma-Enhanced Hybrid-Physical-химического осаждения паров (РЕ-HPCVD). Он состоит из 300 W RF (соотношение частоты) генератора плазмы и соответствующие сети, Up-Stream источника испарения на лодке с блоком питания, четыре канала MFC газа и высокая производительность вакуумного насоса. Такая система является отличным инструментом для тепловой обработки неорганических герметик порошки с великолепным и температуры поверхности единообразия.
| Структура системы | Встроенный 300W (13.56Мгц) РЧ блок питания с подходящими сети позволяет плазменных enhanced processing которых значительно снижает tprocessing-температуры. Зубчатый привод поворота трубки позволяет "Комбинирование операторов" типа для обработки порошков для достижения наилучшего качества обработки единообразия. Четыре канала станции смешения воздушных потоков газа с MFCs обеспечивают точный контроль подачи газа. Интеграция Up-Stream источника испарения на лодке с катушки вольфрама позволяет sublimate твердых прекурсоров в целях удовлетворения потребностей гибридный Physical-Chemical обработки. |
| Two-Zone печи вращающегося решета | Рабочая температура: 1100ºC Max(<1часа). и 1000ºC для непрерывной системы отопления. Два PID контроллеры температуры с 30 сегментов программируемые уставки. Входная мощность: 208 - 240 В перем. тока, одна фаза на макс. 1,5 КВТ. Алюминия высокой чистоты волокнистой изоляции для максимальной экономии энергии. Шестерни двигателя постоянного тока диски кварцевую трубку с переменной частотой вращения 2 - 10 об/мин. Две зоны: каждой зоны длиной 4 дюймов (100 мм), всего 8" (200 мм) зона нагрева. |
| Плазмы ВЧ мощность питания | Выходная мощность: 5 Вт -300 us регулируется с точностью ± 5%. Рч частотой: 13,56 Мгц ± 0,005%. Отражением мощность: 100 Вт макс. Подбор: автоматический. Мощность: 208-240В перем. тока, одна фаза, 50Гц. |
| Лодка испарения | Рабочая температура: 1100ºC Max(<1часа). и 1000ºC для непрерывной системы отопления (1500ºC с печи Камера нагревается до 800ºC) Глинозема 0.7ml кристаллизации с катушки отопления вольфрама в окружении. Термопары типа "K установлена для точного измерения температуры от исходного материала. Рабочий ток: <= 30 A. |
| Герметичность фланцев | Стандартная комплектация: 2'' с предохранителями O.D кварцевую трубку обработки Одна пара 1'' SS герметичность фланец с помощью поворотного разъема газа игольчатые клапаны и включены для немедленного использования. |
| Герметичность фланцев | Пару 1'' O.D быстрый отсоедините фланец с KF25 порт установлены на каждом конце трубки. Магнитная жидкость уплотнения поворотной сцепки используется для включения в поворот трубки без скручивания foreline или нижнего вложения (например, газа, порошок и электрические линии питания). |
| Скорость вращения трубки | 0 - 5 об/мин. |
| Вакуумный насос и манометр | EQ-FYP высокопроизводительных двухрежимные вакуумный насос включен KF25 адаптера и упругий элемент из нержавеющей стали соединены между насосом и фланец трубки. 10E-2 Торр вакуум может быть достигнуто в обработке трубы. |
MFC газа станции смешения воздушных потоков | Четыре precision массовый расход воздуха м (0,02%) с помощью цифровых дисплеев установлены на нижней части корпуса для регулирования расхода газа автоматически. MFC 1. Поток газа в диапазоне от 0~100 SCCM MFC 2&3: диапазон регулировки от 0~200 SCCM MFC 4: диапазон регулировки от 0~500 SCCM На входе и выходе газа фитинги: 6мм фитинг трубки O.D Мощность: 208-240В переменного тока 50/60 Гц Игольчатые клапаны из нержавеющей стали для ручного управления ВКЛ./ВЫКЛ. поставок газа. Большой сенсорный экран с программируемым логическим контроллером управления обеспечивает простоту настройки скорости подачи |
Контроль температуры | Два нагревательных элемента конструкции зоны с отдельными контроллер температуры. Точного управления PID на отопление и охлаждение и времени задержки, 30 программируемых сегментов. Встроенный перегрева и сломанные термопары. Защита от перегрева и позволяет сигналов тревоги для работы без сопутствующих(s). +/- 1°C точности измерения температуры. Три термопары типа K (по одному для каждой зоны). Коммуникационный порт RS485. |
| Гарантия | Один год ограниченной гарантии на весь срок службы поддержки |
